ГОСТ 25661-83 Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования
Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции
Дата актуализации: 19.03.2013
