ГОСТ 19658-81 Кремний монокристаллический в слитках. Технические условия
Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл-диэлектрик-полупроводник
Дата актуализации: 19.03.2013
