ГОСТ 26239.5-84 Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей
Настоящий стандарт устанавливает нейтронно-активационный метод определения примесей в нелегированном полупроводниковом кремнии и кварце.
Метод не распространяется для анализа кремния марок КЭС-0,01 и КЭМ-0,01
Дата актуализации: 19.03.2013
